(广东 深圳 东莞 广州)经典款Edwards爱德华双级旋片真空泵E2M275
深圳市托理拆利机电设备有限公司是欧洲Edwards爱德华真空泵授权代理商,为客户24小时提供技术支持及售后服务,针对各个行业工艺端设计提供适合的负压真空系统解决方案,为光伏真空设备、科研真空设备、实验室真空设备、科学仪器真空设备、半导体真空设备、锂电池真空设备、工厂高真空设备、学校高真空设备提供优化的真空解决方案。
(广东 深圳 东莞 惠州 广州 佛山)经典款Edwards爱德华双级旋片真空泵E2M275
经典款爱德华E2M275双级旋片真空泵
应用领域
1. 半导体设备制造:为光刻、刻蚀、薄膜沉积等工艺提供稳定真空支持。
2. 真空冶金加工:用于金属材料的真空熔炼、退火、镀膜等工艺,提高金属质量和性能。
3. 制药行业:满足药品冷冻干燥、真空蒸馏、包装等环节的真空度要求。
4. 化工行业:在真空干燥、蒸馏、过滤等过程中发挥作用,提高生产效率和产品质量。
5. 科研实验:为物理、化学、材料科学等领域实验提供高真空或低真空环境。
展开剩余64%技术参数
1. 流量:50Hz时为255m³/h,60Hz时为306m³/h。
2. 极限真空:不带气囊为1.0x10⁻³mbar,带气囊为5.0x10⁻³mbar。
3. 入口连接:带密封件的ISO63盲法兰;出口连接为中心分接的ISO40法兰。
4. 最大功率:50Hz时为7.5kW,60Hz时为8.5kW。
5. 重量:253kg。
6. 噪声级别:75dB(A)。
工作原理
泵体内有偏心安装的转子及可滑动旋片,电机驱动转子旋转时,旋片在离心力和弹簧力作用下紧贴泵腔内壁滑动,泵腔容积增大形成负压吸气,转子继续旋转腔室容积减小压缩气体,当气体压力高于排气口压力时从排气口排出,通过双工作室串联,重复吸气、压缩和排气过程来抽取气体,达到所需真空度。
特点
1. 高极限真空和高抽速:能快速抽取气体,达到较高真空度,满足多种高真空工艺需求。
2. 低运行噪音:通常在65dB左右,为操作人员营造较为安静的工作环境。
3. 良好的水蒸气处理能力:气镇控制可处理高水蒸气负荷,防止蒸汽在泵内凝结,减少对泵的损害。
4. 结构紧凑:设计紧凑,体积小、重量轻,便于安装和移动,适用于各种工作场所。
5. 可靠的润滑系统:先进的油压回路,即使在高气体负荷下也能提供良好润滑,确保泵的稳定运行。
6. 安全保护完善:配备防伤手风扇和联轴器壳体,为操作人员提供保护。
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